X射線熒光光譜儀的細分

更新時間：2024-11-12

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X射線熒光光譜分析作為一種快速、簡便且無損的檢測技術，在眾多行業的元素分析領域被廣泛應用，但其儀器的名稱應該是EDS，XRF還是EDX呢？

EDS是能譜儀（Energy Dispersive Spectrometer）的英文縮寫，通常用于配合掃描電子顯微鏡，是電子束微束分析技術中應用極為廣泛的儀器。但因其英文縮寫與能量色散型X射線熒光光譜儀（EDX) 頗為相似且同樣用于材料的元素含量分析，故二者容易被混淆。

XRF是X射線熒光光譜儀（X-Ray Fluorescence Spectrometer）的英文縮寫。而EDX或（EDXRF)是X射線熒光光譜儀XRF分類中的一種。那么，XRF究竟又有哪些分類呢？

按分光方式分類

我們熟知光的能量和波長之間有一個基本的關系用如下公式表達：

E=h×C/λ

所以XRF在區分不同元素的特征光時可依據波長的不同或者能量的不同，前者稱為波長色散X熒光光譜儀（Wavelength Dispersive XRF），后者稱為能量色散X熒光光譜儀（Energy Dispersive XRF）。

圖1 WDXRF & EDXRF結構示意圖

從圖1對比可知：

WDXRF的結構復雜，造價昂貴，使用維護成本也更高
WDXRF產品與同級EDXRF相比，具有檢出限（LOD）更低、分辨率更好、精密度更高和分析時間更短的優勢
近年來，EDXRF技術和應用取得了驚人的進步，EDXRF緊湊的結構設計避免了X射線熒光的強度損失，在高性能硅漂移探測器的超高計數率和分辨率的加持下保證了ppm濃度的檢測能力

按激發方式分類

根據激發方式的不同可細分為直接激發、聚束毛細管透鏡微束和偏振光等，不同的激發方式可針對不同的應用和不同的元素提高激發效率，如圖2中將偏振光運用到XRF中可最da程度地過濾背景信號，提高峰背比，改善如熒光產額較低的輕元素的激發效果。